技術(shù)編號：3288845

提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。

本發(fā)明屬于薄膜生長或薄膜制備領(lǐng)域，更確切地說涉及在襯底上進行沉積或噴鍍等方法進行薄膜制備的領(lǐng)域以及類似裝置。本發(fā)明的內(nèi)容是提供一種解決高溫下襯底原子流失影響平整度的設(shè)計方案；本發(fā)明利用加熱裝置(1)來加熱襯底(2)至薄膜(3)生長所需的溫度，在薄膜生長的過程中利用補償蒸發(fā)源(4)來蒸發(fā)同襯底相同材料以補償其在薄膜生長過程中因為熱蒸發(fā)所流失的襯底表面材料(5)，從而有效避免襯底在高溫下的蒸發(fā)造成的成膜形貌缺陷，可以生長出平整的、高質(zhì)量的薄膜材料。專利說明一種...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。

詳細技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。

該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家，請聯(lián)系客服

• 王老師：功能高分子材料，污水處理，電化學合成
• 趙老師：1.?金屬材料表面改性技術(shù) 2.?超硬陶瓷材料制備與表面硬化 3.?規(guī)整納米材料制備及應用研究
• 王老師：1.數(shù)字信號處理 2.傳感器技術(shù)及應用 3.機電一體化產(chǎn)品開發(fā) 4.機械工程測試技術(shù) 5.逆向工程技術(shù)研究
• 王老師：1.精密/超精密加工技術(shù) 2.超聲波特種加工 3.超聲/電火花復合加工 4.超聲/激光復合加工 5.復合能量材料表面改性 6.航空航天特種裝備研發(fā)
• 郝老師：1.?先進材料制備 2.?環(huán)境及能源材料的制備及表征 3.?功能涂層的設(shè)計及制備 4.?金屬基復合材料制備
• 劉老師：非常規(guī)環(huán)境下二次電池關(guān)鍵材料與電化學機理，鋰/鈉離子電池，鋰-空氣電池關(guān)鍵材料，多孔合金電極材料，新型二次電池的設(shè)計與改性。
• 丁老師：1.材料物理與化學 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
• 王老師：機械制造