技術(shù)編號(hào)：3282686
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)氣相沉積CVD裝置，具體涉及一種安全性智能控制化學(xué)氣相沉積CVD裝置。技術(shù)背景化學(xué)氣相沉積(CVD)是一種材料表面改性技術(shù)。近年來(lái)CVD技術(shù)已用于制備陶瓷、陶瓷基復(fù)合材料、C/C復(fù)合材料等，以及低壓CVD理論研究。它可以利用氣相間的反應(yīng)，在不改變基體材料的成分和不削弱基體材料的強(qiáng)度條件下，賦予材料表面一些特殊的性能。目前，由化學(xué)氣相沉積技術(shù)制備的材料，不僅應(yīng)用于刀具材料、耐磨耐熱耐腐蝕材料、宇航工業(yè)上的特殊復(fù)合材料、原子反應(yīng)堆材料及生...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。