技術(shù)編號：3252750
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及MgO功能薄膜，具體是。背景技術(shù) 在現(xiàn)有技術(shù)中，在彩色等離子顯示器特別是交流型彩色等離子顯示器中，MgO功能薄膜充當保護介質(zhì)層，以及作為高溫超導(dǎo)薄膜和鐵電薄膜的穩(wěn)定阻擋層引起了人們廣泛的興趣。目前，MgO功能薄膜主要的制備方法有真空蒸鍍法、化學(xué)氣相沉積法和溶膠-凝膠法等。其中，真空蒸鍍法多采用電子束蒸發(fā)技術(shù)和激光脈沖沉積技術(shù)，即分別采用電子束和激光聚焦在純MgO靶表面，使得MgO熔化而被蒸發(fā)。雖然這兩種方法可制備高純度的MgO功能薄膜，但由于采用...
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