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自由開放式線圈過濾器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3252114

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本發(fā)明涉及一種過濾器,特別是涉及一種自由開放式線圈過濾器,用于對陰極電弧離子源進(jìn)行電磁場過濾以達(dá)到部分或者完全去除液態(tài)大顆粒,屬于鍍膜和材料表面改性。背景技術(shù) 利用陰極電弧離子源進(jìn)行的離子鍍(工業(yè)上常常稱之為多弧離子鍍,或者電弧離子鍍)是目前應(yīng)用最為廣泛的鍍膜工藝之一,相對于蒸鍍、濺射等鍍膜工藝來說,它具有離化率高(70%~90%)、膜基結(jié)合力好、沉積速率高的優(yōu)點(diǎn)。但是它具有一個(gè)非常大的缺點(diǎn)液態(tài)大顆粒的產(chǎn)生。這些液態(tài)大顆粒通常直徑在0.1μm到10μm左右...
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