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電子束照射表面改性裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3245059

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本發(fā)明涉及向金屬部件等的表面照射電子束、進行表面改性加工 的電子束照射表面改性裝置。 背景技術(shù)近年來開發(fā)了以下方法,即,在通過等離子化的電離氣體中的大 面積上產(chǎn)生比較均勻的高能密度的電子束,通過向機械切削加工后或 放電加工后的各種金屬部件照射該電子束,對大面積進行同樣的加工, 從而不觸及深部地進行表面加工和表面改性加工。作為使用該方法的裝置,公開了如下的金屬零件的表面改性用電 子束裝置,即,,將電子束產(chǎn)生部和被照射體設(shè)置在填充低壓氬氣(電 離氣體)的密封殼...
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