技術(shù)編號(hào)：3244901
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一種材料蒸鍍裝置。背景技術(shù) 如果在當(dāng)今的工業(yè)中不存在將各個(gè)層涂覆在襯底上的涂層工藝作為制造技術(shù)，這是無法想象的。涂覆在這些襯底上的所述層可以例如作為保護(hù)層或僅作為裝飾層。這樣的涂層工藝的一個(gè)例子是蒸鍍工藝。在這樣的蒸鍍工藝中，材料被引入蒸鍍器裝置，隨后被轉(zhuǎn)化為氣相。然后，這些氣態(tài)材料朝向襯底運(yùn)動(dòng)，沉積于其上，并形成高度均勻的層?？梢岳斫猓谕扛驳谝粚又?，可以以此方式涂覆其它層，從而可以在襯底上涂覆多層系統(tǒng)。例如，在一種已知的涂層工藝中，在真空室中用...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。