技術編號：3089956
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種晶圓激光切割裝置。晶圓激光切割裝置包括紫外激光器、擴束鏡、反射鏡、聚焦裝置、工作臺、第一照明裝置、第二照明裝置、第一同軸視覺定位裝置及第二同軸視覺定位裝置。紫外激光器輸出的激光入射到擴束鏡，經過擴束鏡后的激光入射到反射鏡上，激光經反射鏡后入射進聚焦裝置，透過聚焦裝置的激光聚焦于工作臺上，工作臺包括用于承載工件的承載面，承載面采用透明結構，第一照明裝置位于聚焦裝置及工作臺之間，第一同軸視覺定位裝置位于反射鏡上方，第二照明裝置位于工作臺下方，第二同軸視覺定...
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