技術(shù)編號：3021588
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于硅單晶區(qū)熔，尤其是涉及。背景技術(shù)區(qū)熔熱場線圈為銅質(zhì)圓盤，熱場線圈正中心有一個(gè)與整體呈同心圓的線圈孔，在熱場線圈與區(qū)熔單晶爐連接處有兩個(gè)接線柱，在熱場線圈接線柱一側(cè)有一條與熱場線圈表面呈一定角度的切口。區(qū)熔拉制單晶法是將多晶晶棒懸掛在區(qū)熔單晶爐內(nèi)，熱場線圈位于多晶棒正下方。在拉制單晶時(shí)，熱場線圈中會通過高功率的射頻電流，射頻功率激發(fā)的電磁場將在多晶柱中引起渦流，產(chǎn)生焦耳熱，通過調(diào)整線圈功率，可以使得多晶柱緊鄰線圈的部分熔化，在由射頻功率激發(fā)出的電磁...
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