技術(shù)編號：2943767
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用來分析真空容器等測試體內(nèi)氣體成分(分壓測量)的四極桿質(zhì)譜儀。背景技術(shù)例如在以濺鍍或氣相沉積來成膜等抽真空過程中，除了過程中的壓力，在作為處理室的真空室內(nèi)殘留的氣體的成分有時也對薄膜質(zhì)量等產(chǎn)生巨大的影響。分析這種殘留氣體的組成(氣體成分)，以往使用的是四極桿質(zhì)譜儀。四極桿質(zhì)譜儀由可拆卸地安裝于測試體上的傳感器部以及控制單元構(gòu)成。以相對于測試體的傳感器部的安裝方向為上方，以往使用的傳感器部具有圓板狀支持體，其設(shè)置在傳感器部的下端；設(shè)置在支持體上...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。