技術(shù)編號：2908360
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及質(zhì)譜離子源，離子刻蝕和材料表面處理領(lǐng)域。背景技術(shù)離子源是使中性原子或分子電離，并從中引出離子束流的裝置。電子轟擊(EI)電離源是通過熱陰極發(fā)射電子，將電子加速到一定能量形成電子束。然后用電子束轟擊氣體或者液體和固體樣品的蒸汽。當電子的能量大于樣品分子的能量時，樣品分子因失去電子而電離成離子，從而實現(xiàn)樣品分子的離子化。這種電離源在同位素分析、有機分析和具有一點揮發(fā)性的液體樣品分析時，有著很廣泛的應用。但他的缺點是樣品母體離子少，多數(shù)為碎片離子。電噴...
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