技術(shù)編號：2905875
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種離子源燈絲及其夾持裝置，特別適合于半導(dǎo)體工藝設(shè)備中的離子注入機(jī)。背景技術(shù)離子注入機(jī)是半導(dǎo)體工藝中離子摻雜的典型設(shè)備，離子源產(chǎn)生需要摻雜的離子束，離子束再經(jīng)過質(zhì)量分析、校正、加速，傳輸?shù)教幱诎惺医K端工藝腔體的硅片表面。隨著半導(dǎo)體器件集成度越來越高，半導(dǎo)體工藝設(shè)備越來越復(fù)雜，對離子源的的束流要求也越來越高，因此對于離子源燈絲的要求也越來越高。對于注入工藝，低能量大束流的離子注入機(jī)是發(fā)展的方向，而適用于該類離子注入機(jī)的離子源需要產(chǎn)生寬帶束或扁狀帶束...
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