技術(shù)編號：2898199
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種具有光闌組件的粒子束裝置。本發(fā)明還涉及一種用于粒子束裝置 的光闌組件。此外，本發(fā)明還涉及一種用于在粒子束裝置中設(shè)定束流的方法。這里、上文以 及下文中，當(dāng)提及粒子束裝置時(shí)，其應(yīng)該包括電子束設(shè)備，尤其是掃描電子顯微鏡(以下也 稱作SEM)和透射電子顯微鏡(以下也稱作TEM)、以及離子束設(shè)備。因此本發(fā)明并不限于電 子束設(shè)備。其適用于任何粒子束裝置。背景技術(shù)電子束設(shè)備(尤其是SEM)可用來分析物體(試樣)的表面。為此目的，在SEM中 利用電子束產(chǎn)生器...
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