技術(shù)編號(hào)：2811833
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于半導(dǎo)體晶片和半導(dǎo)體晶片的加工用掩模等的微小尺寸測量裝置，而可提高其測量效率的技術(shù)，背景技術(shù)利用附圖說明圖1來說明過去的微小尺寸測量裝置的方框結(jié)構(gòu)例。在該圖中，由光學(xué)顯微鏡1取得的試樣2的放大圖像，利用二維傳感器的攝像裝置即電視攝像機(jī)3對多個(gè)圖像一幀幀地進(jìn)行光電變換使其成為圖像信號(hào)。利用測量控制部(PC個(gè)人計(jì)算機(jī))4中的俘獲板5把該圖像信號(hào)變換成數(shù)字圖像信息，把該數(shù)字圖像信息存儲(chǔ)到俘獲板5內(nèi)的幀存儲(chǔ)器中。并且，根據(jù)按圖像信號(hào)存儲(chǔ)的1幀圖像信息中...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。