技術(shù)編號(hào)：2799238
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的領(lǐng)域涉及機(jī)電系統(tǒng)。 背景技術(shù)機(jī)電系統(tǒng)包含具有電元件和機(jī)械元件、致動(dòng)器、變換器、傳感器、光學(xué)組件(例如鏡)以及電子設(shè)備的裝置。機(jī)電系統(tǒng)可在包含(但不限于)微米尺度和納米尺度的多種尺度下制造。舉例來說，微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)裝置可包含尺寸范圍為約一微米到數(shù)百微米或更多的結(jié)構(gòu)。納米機(jī)電系統(tǒng)(NEMS)裝置可包含尺寸小于一微米(例如，包括尺寸小于幾百納米)的結(jié)構(gòu)?？墒褂贸练e、蝕刻、光刻和/或其它蝕刻掉襯底和/或已沉積材料層的部分或添加層以形成電裝置和機(jī)電裝...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。