技術(shù)編號：2789569
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光照射裝置，尤其涉及半導(dǎo)體、印刷電路板、液晶基板等的圖案形成所 使用的曝光裝置及將液晶面板等的面板粘合的粘合裝置等中，經(jīng)由被掩模保持機構(gòu)保持的 掩模而對被照射物照射光的光照射裝置。背景技術(shù)在用以制造半導(dǎo)體、印刷電路板、液晶基板等的曝光工序中，使用經(jīng)由形成了圖案 的掩模而照射包含紫外線(曝光光)的光、將掩模圖案轉(zhuǎn)印于工件的曝光裝置。作為此種曝 光裝置，存在使掩模與工件接近、將掩模圖案轉(zhuǎn)印于工件上的近接式曝光裝置(proximity exposure...
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