技術(shù)編號：2785915
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及在光通信系統(tǒng)中使用的。背景技術(shù) 圖5A-圖5I是表示在特開平11-84157號公報上公開的現(xiàn)有光波導(dǎo)管的制造工序的剖面圖。首先，如圖5B所示，在圖5A所示的襯底11上用堆積處理等方法形成下部覆蓋層12。以下如圖5C所示，在下部覆蓋層12上通過堆積處理形成中心層15。而后如圖5D所示，在中心層15上形成掩膜層6，如圖5E所示通過光蝕刻形成抗蝕劑圖案17。以下如圖5F所示，通過反應(yīng)性離子蝕刻，蝕刻掩膜層16形成掩膜圖案18，除去抗蝕劑圖案17。以下，...
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