技術(shù)編號(hào):2784093
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光學(xué)多工器,尤其涉及可以對(duì)所接收到的多條光進(jìn)行選擇性輸出的光學(xué)多工器。背景技術(shù) 分光器是用于分光從光源輸入的光,并檢測(cè)所分光的各光波長(zhǎng)強(qiáng)度的光學(xué)裝置。用戶根據(jù)由分光器得到的數(shù)據(jù)來獲得針對(duì)光源成分或性質(zhì)的信息。這種分光器被連接于用于半導(dǎo)體工藝中的個(gè)別的室等而使用,以用于提供在室內(nèi)部產(chǎn)生的所有光信息。圖1為用于說明采用分光器的現(xiàn)有的光學(xué)系統(tǒng)的控制框圖。如圖所示,光學(xué)系統(tǒng)包含多個(gè)光源10、20、30;連接于各光源10、20、30的多個(gè)分光器40、5...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。