技術(shù)編號：2775400
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種投影光學(xué)系統(tǒng)，具體是涉及通過將通過了掩模的紫外線等的照明光作為投影光投影在印刷電路透光板及LCD基透光板等的工件上，使規(guī)定的圖案被投影曝光在工件上的投影光學(xué)系統(tǒng)。背景技術(shù) 以往，作為在印刷電路透光板、液晶面透光板上形成液晶用的彩色濾光片等電子電路等的圖案的曝光裝置，一般是使用具有規(guī)定的波長的紫外線進(jìn)行曝光處理的投影曝光裝置。而且，作為該投影曝光裝置的投影光學(xué)系統(tǒng)或反射折射投影光學(xué)系統(tǒng)(以下，簡稱投影光學(xué)系統(tǒng))，已有各種的提案。投影曝光裝置的投...
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