技術(shù)編號(hào)：2773416
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的領(lǐng)域涉及微機(jī)電系統(tǒng)(microelectromechanical system，MEMS)。背景技術(shù) 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)包含微機(jī)械元件、激活器和電子元件?？墒褂贸练e、蝕刻和/或其它蝕刻去除襯底和/或已沉積材料層的若干部分或者添加若干層以形成電裝置和機(jī)電裝置的微加工工藝來產(chǎn)生微機(jī)械元件。一種類型的MEMS裝置被稱為干涉式調(diào)制器。如本文所使用，術(shù)語干涉式調(diào)制器或干涉式光調(diào)制器指的是一種使用光學(xué)干涉原理選擇性地吸收和/或反射光的裝置。在某些實(shí)施例中，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。