技術(shù)編號：2768716
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于利用電子束在一個半導體襯底上生成一個精細圖形的電子束圖像刻繪裝置；更具體地，其涉及一種制作一個用在集成圖形(單元投影)類型的電子束圖像刻繪裝置中借此能夠以更高的速度生成精細圖形的圖像刻繪掩模的方法。隨著LSI技術(shù)的進步，在提高生成在半導體裝置上的電路圖形的精細度方面有了迅速地進步。一種生成精細圖形的方法是使用電子束圖像刻繪。這樣一種電子束圖像刻繪系統(tǒng)是一種能夠生成寬度為達到甚至更高密度的半導體電路集成而必須小于0.25μm的精細圖形的系統(tǒng)...
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