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半導(dǎo)體器件的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2759650

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本發(fā)明涉及一種,特別地,涉及一種電子束曝光與普通光學(xué)曝光相結(jié)合的混合曝光方法。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體器件特征尺寸的不斷縮小,在中,普通的光學(xué)曝光的技術(shù)極限也已逐漸到來(lái)。目前,普遍采用的普通光學(xué)曝光技術(shù)中,I線光源365nm可以對(duì)350nm及以上尺寸的線條進(jìn)行曝光,準(zhǔn)分子激光光源M8nm/193nm,包括浸沒(méi)式193nm, 可用于制作特征尺寸在20nm及以上半導(dǎo)體器件器件,而用傳統(tǒng)的普通光學(xué)曝光技術(shù)很難實(shí)現(xiàn)對(duì)20nm以下精細(xì)圖形的曝光。20nm以下的精細(xì)圖形通常...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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