两个人的电影免费视频_国产精品久久久久久久久成人_97视频在线观看播放_久久这里只有精品777_亚洲熟女少妇二三区_4438x8成人网亚洲av_内谢国产内射夫妻免费视频_人妻精品久久久久中国字幕

Xyy精密定位平臺(tái)的校準(zhǔn)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2739210

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本發(fā)明涉及一種平臺(tái)的校準(zhǔn)方法,特別涉及用于芯片制造行業(yè)的XYY精密 定位平臺(tái)的校準(zhǔn)方法。背景技術(shù)精密定位平臺(tái)是精密加工領(lǐng)域的重要工具。例如,光刻機(jī)在制造芯片的時(shí) 候,就是把硅片和掩模分別固定在兩個(gè)精密定位平臺(tái)上,以便把掩模上的圖形 復(fù)制到硅片上。公開(kāi)號(hào)為CN2777335Y的中國(guó)專(zhuān)利"一種三自由度精密定位平臺(tái),,公開(kāi)了 一 種精密定位平臺(tái),該平臺(tái)在X方向有一個(gè)伸縮機(jī)構(gòu)(該專(zhuān)利中用凸輪和彈性柔 性件實(shí)現(xiàn)),Y方向有兩個(gè)伸縮機(jī)構(gòu),其原理示意圖可參閱圖1,圖中畫(huà)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類(lèi)下的技術(shù)專(zhuān)家--如需求助專(zhuān)家,請(qǐng)聯(lián)系客服
  • 孫老師:1.機(jī)機(jī)器人技術(shù) 2.機(jī)器視覺(jué) 3.網(wǎng)絡(luò)控制系統(tǒng)
  • 楊老師:物理電子學(xué)
英超| 神木县| 边坝县| 芜湖市| 肃宁县| 佛山市| 醴陵市| 嘉禾县| 乐山市| 涞水县| 双牌县| 宁南县| 清流县| 镇坪县| 大名县| 惠水县| 尚义县| 耒阳市| 孟州市| 建始县| 涟水县| 长岛县| 永嘉县| 尖扎县| 郯城县| 呈贡县| 元江| 文安县| 霍邱县| 集安市| 白水县| 兴海县| 德安县| 阳曲县| 波密县| 长顺县| 麦盖提县| 屏东县| 凤山市| 金塔县| 福泉市|