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一種太赫茲波段離軸三反射鏡系統(tǒng)及其裝調(diào)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2716810

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本發(fā)明提供了,屬于離軸反射成像光學(xué)系統(tǒng)。所述太赫茲波段離軸三反射鏡系統(tǒng)包括測(cè)量基座、主鏡、次鏡、三鏡,其特征在于,還包括設(shè)置在測(cè)量基座上的第一測(cè)量探頭、第二測(cè)量探頭、第三測(cè)量探頭,以及固定在主鏡側(cè)面的第一高精度參考?jí)K,固定在次鏡側(cè)面的第二高精度參考?jí)K和固定在三鏡側(cè)面的第三高精度參考?jí)K,所述第一測(cè)量探頭、第二測(cè)量探頭和第三測(cè)量探頭上均設(shè)置有距離傳感器,通過(guò)距離傳感器測(cè)量第一高精度參考?jí)K、第二高精度參考?jí)K和第三高精度參考?jí)K的位置、姿態(tài)和自由度信息,則可得到主鏡...
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