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薄膜圖案層及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2705287

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本發(fā)明涉及一種薄膜圖案層及一種薄膜圖案層的制造方法。 背景技術(shù)目前制造薄膜圖案層的方法主要包括光微影法及噴墨法。 光微影法通過在預(yù)備涂布所需薄膜的基板結(jié)構(gòu)上,涂敷光阻材料,將 具有預(yù)定圖案的光罩設(shè)在光阻材料上,進(jìn)行曝光及顯影,或加上蝕刻制程, 而形成具有預(yù)設(shè)圖案的薄膜圖案層。該光微影法需要復(fù)雜的制程,并且,材 料的使用效率較低而造成制造成本高。噴墨法提供一個(gè)具有由多個(gè)擋墻限定的多個(gè)收容空間的基板結(jié)構(gòu),使 用一個(gè)噴墨裝置,由裝置上多個(gè)噴墨孔,將形成薄膜材料的...
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