技術(shù)編號：2704691
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種非接觸式光刻機(jī)調(diào)平調(diào)焦系統(tǒng)，包括至少三個(gè)光譜共焦位移傳感器，用于采集光刻機(jī)的掩膜版下表面與位于光刻機(jī)上的樣片表面的光刻膠層的上表面之間的間隙距離數(shù)據(jù)；信號處理電路，用于根據(jù)所述光譜共焦位移傳感器采集的所述間隙距離數(shù)據(jù)計(jì)算處理，輸出控制信號到光刻機(jī)的承片機(jī)構(gòu)和升降機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)對樣片的調(diào)平與調(diào)焦控制，使樣片表面的光刻膠層的上表面與所述掩膜版的下表面之間的間隙距離保持在預(yù)定工作距離內(nèi)。本發(fā)明同時(shí)公開了非接觸式光刻機(jī)調(diào)平調(diào)焦方法以及具有所述調(diào)平調(diào)焦系...
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