技術編號:2578638
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種。 背景技術多個像素呈矩陣狀配置的有源型液晶顯示元件及有機電致發(fā)光顯示元件形成于 玻璃基板上。這些像素分別被配置在附近的晶體管所控制。根據(jù)現(xiàn)有的技術,無法在玻璃基板上形成結(jié)晶半導體的晶體管。因此,控制像素的 薄膜晶體管形成為非晶硅或多晶硅薄膜上。薄膜晶體管具有能夠以低廉的價格在大面積基 板上制作的優(yōu)點,但是,與結(jié)晶硅相比,它的缺點是移動度小,無法進行高速操作。為了解決該缺點,本發(fā)明人提出了一種方法預先在單結(jié)晶硅晶片上制作多個晶 體管,然后從硅...
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