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一種多層結(jié)構(gòu)的阻隔真空膜的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2451224

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本實(shí)用新型公開了一種多層結(jié)構(gòu)的阻隔真空膜,包括基材層,還包括設(shè)于基材層一側(cè)或兩側(cè)的至少一層阻隔層,阻隔層為由無機(jī)物構(gòu)成的阻隔層。本實(shí)用新型通過采用磁增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)在基材層的表面沉積一層由無機(jī)物構(gòu)成的阻隔層時(shí),形成的阻隔真空膜的阻隔層上層有一層約11nm的粗糙層,其中空氣成分體積比達(dá)到30%,極大地增強(qiáng)了基材的阻氧性以上的阻隔層;當(dāng)沉積兩層以上的阻隔層時(shí),可以有效地延長水蒸氣在材料表面或?qū)娱g透過的時(shí)間,降低水蒸氣透過率,同時(shí)提高材料的阻氧性,使內(nèi)包裝物...
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