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機(jī)器手的定位方法及其裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2337299

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本發(fā)明涉及機(jī)器手的定位方法及其裝置。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體的生產(chǎn)線等中,有時(shí)會(huì)采用臂式機(jī)器人將收納在盒體內(nèi)的玻璃基板搬送到下一個(gè)作業(yè)場所。臂式機(jī)器人在使機(jī)器手進(jìn)入盒體內(nèi)的玻璃基板的下方空間后使該機(jī)器手筆直地上升并吸附在玻璃基板上。然后,對應(yīng)每一塊玻璃基板將機(jī)器手從盒體內(nèi)拉出,并搬送到下一個(gè)作業(yè)場所的交接位置。有時(shí)會(huì)發(fā)生玻璃基板在盒體內(nèi)收納在偏離正規(guī)位置的現(xiàn)象,臂式機(jī)器人一邊補(bǔ)正該位置的偏差,一邊正確地搬送到下一個(gè)作業(yè)場所的交接位置。在機(jī)器手上設(shè)有檢測玻璃基板的...
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