技術(shù)編號：1959769
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于利用表面改性進行超精密切削加工的新技術(shù)，具體涉及粒子束輔助脆性材料 超精密加工方法。背景技術(shù)超精密加工是為了適應(yīng)國防及國民經(jīng)濟快速發(fā)展的需求而發(fā)展起來的高精度加工技術(shù)。 超精密加工包括超精密車削、超精密磨削及研磨和拋光等。對于單晶脆性材料(如單晶硅) 的超精密加工中，由于材料的硬脆特點，被加工表面呈脆裂狀態(tài)，嚴重影響加工質(zhì)量和精度。如何減小或消除脆性材料加工過程中的脆裂現(xiàn)象，提高超精密加工的加工精度和表面粗 糙度， 一直是超精密加工領(lǐng)域的研究焦點...
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