技術(shù)編號：1882156
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提出。所述的腐蝕液由氫氟酸、無機(jī)酸、陽離子表面活性劑和去離子水組成，其質(zhì)量百分比為氫氟酸占10％～19％，無機(jī)酸占35％～50％，陽離子表面活性劑占4％～7％，去離子水占24％～51％。本發(fā)明所述的腐蝕液通過降低液體表面張力，提高了對石英材料的浸潤性，起到減少腐蝕加工造成的表面缺陷的目的。本發(fā)明應(yīng)用該腐蝕液的石英材料腐蝕方法，通過低濃度腐蝕液預(yù)蝕刻，避免沾污及磨拋加工缺陷在后續(xù)的腐蝕加工過程中造成表面癤瘤缺陷；通過在較高溫度和濃度的腐蝕液中腐蝕加工，...
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