技術編號:1881142
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種大規(guī)格平板陶瓷濕法成型技術,特別是一種注漿成型高密度高強度ITO靶材坯體的制備方法。背景技術ITO靶材坯體成型技術分為干法成型與濕法成型兩大類。干法普遍采用先模壓再冷等靜壓(CIP)的方法;濕法采用注漿成型、壓濾注漿成型等方法。干壓成型技術是將ITO粉料直接置于模具中,通過壓機進行軸向加壓而成型。其制程短、操作簡單,但成型坯體密度不均勻、模壓過程易出現(xiàn)分層、對模具和壓機精度要求高、難于壓制大規(guī)格坯體。注漿成型技術通常是將預先制備的ITO漿料澆...
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