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一種半導(dǎo)體制程正性光刻膠去膠液及應(yīng)用的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12915463

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本發(fā)明涉及去膠液技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種半導(dǎo)體制程正性光刻膠去膠液及應(yīng)用。背景技術(shù)去膠液的使用要求包含以下兩點(diǎn):第一、對(duì)光刻膠具有較強(qiáng)的溶解能力;第二、對(duì)于光刻膠下方的金屬布線層腐蝕性低?,F(xiàn)有技術(shù)中的去膠液多為水性,按照組成可以分為酸性和堿性。酸性去膠液如CN103605266A、CN101776853A,上述兩文件中包含無(wú)機(jī)酸和/或有機(jī)酸、羥基乙酸;堿性去膠液如CN103838091A和CN103605269A,堿源為季銨氫氧化物、氫氧化鉀和醇胺。CN103293882A中公開(kāi)了一種光刻膠清洗液...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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