技術(shù)編號：12885897
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微粒檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種微粒檢測裝置及其檢測方法。背景技術(shù)隨著社會的發(fā)展，微粒(Particle)檢測在例如無塵生產(chǎn)、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域顯得越來越重要。目前多采用電子顯微鏡檢測氣體中包含微粒的形貌。一般地，將氣體中的微粒沉積在硅片上，利用電子對硅片上的微粒群進行轟擊，以獲取微粒的形貌。然而，硅片上沉積的微粒群的形貌與氣體中分散漂浮的微粒的形貌可能不一樣；并且，在使微粒沉積在硅片上的過程中，可能會有其他物質(zhì)一起沉積在硅片上，因此，極大地降低了測得的微粒形貌的準(zhǔn)確性，從而影響確定微粒的產(chǎn)...
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