技術(shù)編號(hào):12256426
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及硅材料導(dǎo)電類型測量設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種便攜式三針硅材料導(dǎo)電類型測量裝置。背景技術(shù)硅料包括P型硅料、N型硅料以及電阻率低的重?fù)焦枇?,如果要將這些細(xì)碎硅料重新用作多晶硅鑄錠或是單晶拉制的原料,必須嚴(yán)格控制這些硅料的導(dǎo)電類型和電阻率。目前,用于檢測半導(dǎo)體硅材料導(dǎo)電類型的方法很多,但使用最多的是溫差法和整流法。但同時(shí)能夠分選硅料P/N型及重?fù)降臏y試方法主要是整流法,即三探針法,這種方法主要是將三根探針直線排列封裝在一根圓柱型筆筒上,再用導(dǎo)線和分選儀主機(jī)相連,組成一套硅料分選設(shè)備。當(dāng)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。