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便攜式三針硅材料導(dǎo)電類型測量裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12256426

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本實(shí)用新型涉及硅材料導(dǎo)電類型測量設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種便攜式三針硅材料導(dǎo)電類型測量裝置。背景技術(shù)硅料包括P型硅料、N型硅料以及電阻率低的重?fù)焦枇?,如果要將這些細(xì)碎硅料重新用作多晶硅鑄錠或是單晶拉制的原料,必須嚴(yán)格控制這些硅料的導(dǎo)電類型和電阻率。目前,用于檢測半導(dǎo)體硅材料導(dǎo)電類型的方法很多,但使用最多的是溫差法和整流法。但同時(shí)能夠分選硅料P/N型及重?fù)降臏y試方法主要是整流法,即三探針法,這種方法主要是將三根探針直線排列封裝在一根圓柱型筆筒上,再用導(dǎo)線和分選儀主機(jī)相連,組成一套硅料分選設(shè)備。當(dāng)...
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