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半導(dǎo)體傳感器的表面處理的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11934804

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本公開(kāi)一般涉及用于處理半導(dǎo)體傳感器的表面的系統(tǒng)和方法以及所處理的半導(dǎo)體傳感器。背景技術(shù)半導(dǎo)體襯底中形成的傳感器陣列日益用于例如分析化學(xué)和分子生物學(xué)領(lǐng)域。舉例來(lái)說(shuō),當(dāng)分析物捕捉在傳感器陣列的傳感器墊上或附近時(shí),可以檢測(cè)與分析物有關(guān)的反應(yīng)的分析物或副產(chǎn)物并且用于說(shuō)明關(guān)于分析物的信息。具體來(lái)說(shuō),此類傳感器陣列已用于基因分析中,例如基因定序或定量擴(kuò)增。在制造期間,多種半導(dǎo)體加工技術(shù)可改變傳感器陣列的表面和傳感器陣列周圍的井結(jié)構(gòu)的表面的性質(zhì)。此類加工還會(huì)在表面上留下殘?jiān)蚋淖儽砻嫜趸4祟惛淖兊谋砻婊瘜W(xué)性...
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