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半導(dǎo)體元件及其制作方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11925077

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本發(fā)明涉及一種制作半導(dǎo)體元件的方法,尤其是涉及一種于接觸洞蝕刻停止層旁形成間隙壁的方法。背景技術(shù)在現(xiàn)有半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,多晶硅系廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體元件如金屬氧化物半導(dǎo)體(metal-oxide-semiconductor,MOS)晶體管中,作為標(biāo)準(zhǔn)的柵極填充材料選擇。然而,隨著MOS晶體管尺寸持續(xù)地微縮,傳統(tǒng)多晶硅柵極因硼穿透(boronpenetration)效應(yīng)導(dǎo)致元件效能降低,及其難以避免的空乏效應(yīng)(depletioneffect)等問(wèn)題,使得等效的柵極介電層厚度增加、柵極電容值下降,進(jìn)而導(dǎo)致...
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