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一種新型功率半導(dǎo)體器件及其邊緣終端結(jié)構(gòu)的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11859227

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本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種新型功率半導(dǎo)體器件及其邊緣終端結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)在電力電子學(xué)領(lǐng)域,功率半導(dǎo)體器件作為關(guān)鍵部件,其特性對系統(tǒng)性能的實(shí)現(xiàn)和改善起著至關(guān)重要的作用,功率半導(dǎo)體器件最主要的特點(diǎn)之一是其阻斷高壓的能力,器件阻斷高壓的能力主要取決于器件結(jié)構(gòu)中特定PN結(jié)的反偏擊穿電壓。在功率器件中受PN結(jié)彎曲或PN結(jié)終止處表面非理想因素的影響,反偏PN結(jié)擊穿電壓又受限于發(fā)生在表面附近或結(jié)彎曲處局部區(qū)域,相對于體內(nèi)平行平面結(jié)提前出現(xiàn)的擊穿現(xiàn)象,且功率半導(dǎo)體體積較大,占用空間大,集成度不高...
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