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拋光墊和系統(tǒng)以及制造和使用該拋光墊和系統(tǒng)的方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11848658

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本公開(kāi)涉及可用于對(duì)基板進(jìn)行拋光的拋光墊和系統(tǒng),以及制造和使用該拋光墊的方法。發(fā)明內(nèi)容在一個(gè)實(shí)施方案中,本公開(kāi)提供了一種拋光墊,該拋光墊包括具有工作表面和與該工作表面相背對(duì)的第二表面的拋光層。其中工作表面包括底面區(qū)域、多個(gè)精確成形孔、和多個(gè)精確成形微凸體;其中每個(gè)孔具有孔開(kāi)口,每個(gè)微凸體具有微凸體基部,并且多個(gè)微凸體基部相對(duì)于至少一個(gè)相鄰孔開(kāi)口是基本上共面的;其中多個(gè)精確成形孔的深度小于與每個(gè)精確成形孔相鄰的底面區(qū)域的厚度,并且底面區(qū)域的厚度小于約5mm;并且其中拋光層包含聚合物。在另一個(gè)實(shí)施方案...
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