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一種基于硅硅鍵合的高精度壓力傳感器的制造方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11822864

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本發(fā)明屬于硅微機(jī)械傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體地說是一種利用單晶硅材料,基于硅硅鍵合的高精度壓力傳感器的制造方法。背景技術(shù)壓阻式壓力傳感器作為微機(jī)械加工技術(shù)獲得巨大成功的典型代表,在工業(yè)控制、環(huán)境監(jiān)控和測(cè)量、汽車系統(tǒng)、航空航天、軍事、生物醫(yī)學(xué)等眾多領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用。壓阻式壓力傳感器敏感芯片采用單晶硅材料,利用微電子和微機(jī)械加工融合技術(shù)制作,具有線性度好、信號(hào)易于測(cè)量等特點(diǎn)。但是由于壓阻式傳感器壓敏電阻本身的溫度特性以及封裝結(jié)構(gòu)的特點(diǎn),使其不僅對(duì)待測(cè)應(yīng)力敏感,還對(duì)熱應(yīng)力、封裝應(yīng)力敏感。目前,硅壓阻壓力...
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