技術(shù)編號(hào):11810094
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開(kāi)內(nèi)容涉及一種具有包括金屬氧化物半導(dǎo)體材料的高可靠性氧化物半導(dǎo)體材料的薄膜晶體管(或“TFT”)基板。尤其是,本公開(kāi)內(nèi)容涉及一種具有摻雜諸如氮的氣體雜質(zhì)元素的金屬氧化物半導(dǎo)體材料,例如氧化銦鎵鋅材料的TFT基板。背景技術(shù)如今,隨著許多便攜式應(yīng)用設(shè)備,諸如移動(dòng)電話、個(gè)人數(shù)字助理和筆記本電腦被廣泛使用,開(kāi)發(fā)了各種平板顯示裝置來(lái)克服陰極射線管的一些缺陷,諸如重量重和體積大。平板顯示裝置包括液晶顯示裝置(或LCD)、場(chǎng)發(fā)射顯示器(或FED)、等離子顯示面板(或PDP)和有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(或OLE...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。