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用于帶有厚背面金屬化的模壓芯片級(jí)封裝的晶圓工藝的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11628215

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本發(fā)明是關(guān)于半導(dǎo)體器件的封裝方法。確切地說,本發(fā)明旨在提供一種模壓芯片級(jí)封裝(MCSP)的改良晶圓工藝,以獲得帶有厚背面金屬的薄芯片封裝,以及在器件的正面和/或背面上的成型化合物。背景技術(shù)在晶圓級(jí)芯片規(guī)模封裝(WLCSP)的技術(shù)中,在晶圓上全部完成半導(dǎo)體芯片,從晶圓上分離單獨(dú)的芯片封裝后,半導(dǎo)體芯片直接封裝在晶圓級(jí)上。因此,芯片封裝的尺寸與原始的半導(dǎo)體芯片的尺寸相同。通常來(lái)說,WLCSP技術(shù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件。在本領(lǐng)域中眾所周知,垂直功率器件,例如共漏MOSFET等具有較大的Rdson。因此,...
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