技術編號：11625423
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明實施例涉及微機電系統(tǒng)封裝及其制造方法。背景技術微機電系統(tǒng)(microelectromechanicalsystems,MEMS)器件(例如，加速度計、壓力傳感器以及陀螺儀)已在許多當代電子器件中得到廣泛使用。例如，通常在汽車(例如，在安全氣囊部署系統(tǒng))、平板計算機或在智能電話中發(fā)現(xiàn)MEMS加速度計。對于許多應用來說，MEMS器件電連接到專用集成電路(application-specificintegratedcircuit,ASIC)以形成完整的MEMS系統(tǒng)。發(fā)明內容根據(jù)本發(fā)明的一些實施例...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。