技術編號：11614773
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬于碳化硅晶體生長技術領域，具體涉及一種液相生長碳化硅的裝置。背景技術現(xiàn)有的液相法生長碳化硅晶體技術，都是通過加熱的方式將硅在高純石墨坩堝中融化，形成碳在硅中的溶液，再將頭部貼付有籽晶的石墨軸伸入到溶液中進行生長。由于此種生長方法，其所使用的坩堝為開放式設計，就造成熔融狀態(tài)下的硅出現(xiàn)揮發(fā)現(xiàn)象，并通過上部開孔揮發(fā)到保溫材料中，并在外部保溫材料中結晶，造成保溫材料的損壞，致使加工成本的增加。現(xiàn)有技術中為了防止硅蒸汽與保溫材料反應，會在坩堝上加入石墨的坩堝蓋。雖然帶開孔的石墨坩堝蓋一定程度上...
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