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一種圓角三角形圖形化襯底的制造方法與工藝技術資料下載

技術編號:11587175

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本發(fā)明屬于襯底制備技術領域,特別涉及一種圓角三角形圖形化襯底。背景技術氮化鎵(GaN)基高亮度發(fā)光二極管(HB-LED)具有廣泛用途,特別是因在固態(tài)照明方面的應用前景而迅速發(fā)展。雖然HB-LED已經商業(yè)化,但由于LED內量子效率(IQE)與光析出率(LEE)限制,制作高效HB-LED仍然困難。制約IQE提高的因素為GaN外延層與外延襯底之間存在較大的晶格失配度和熱膨脹系數(shù)失配度,因而平面襯底上GaN外延層內存在108~1010cm-2的位錯密度,致使LED的IQE不高。另外GaN層與空氣的折射率...
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