技術編號：11528925
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種被覆膜及其制造方法以及物理氣相沉積(PhysicalVaporDeposition，PVD)裝置，更詳細來說，本發(fā)明涉及一種作為各種滑動構件的被覆膜合適的被覆膜及其制造方法以及所述制造方法中所用的PVD裝置。背景技術近年來，在各種產(chǎn)業(yè)領域、特別是汽車領域中，使硬質(zhì)碳膜被覆在引擎(engine)基材或其他機械基材等需要滑動性的構件的表面上的研究正在盛行。所述硬質(zhì)碳膜通常是以類鉆碳(DiamondLikeCarbon，DLC)膜、非晶形碳膜、i-碳膜、鉆石狀碳膜等各種名稱而稱呼，在結構...
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