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基板的吸附裝置、基板的貼合裝置和貼合方法以及電子器件的制造方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11236627

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本發(fā)明涉及基板的吸附裝置、基板的貼合裝置和貼合方法以及電子器件的制造方法。背景技術(shù)隨著顯示面板、太陽能電池、薄膜二次電池等電子器件的薄型化、輕型化,期望應(yīng)用于這些電子器件的玻璃板、樹脂板、金屬板等基板(第1基板)的薄板化。然而,若基板的厚度變薄,則基板的處理性惡化。因此,難以在基板的表面形成電子器件用的功能層(薄膜晶體管(TFT:ThinFilmTransistor)和濾色器(CF:ColorFilter))。因此,提案有如下一種電子器件的制造方法:在基板的背面上貼合加強板(第2基板)從而制造利...
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