技術(shù)編號(hào)：11160673
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。檢查裝置、檢查方法和設(shè)備制造方法相關(guān)申請的交叉引用本申請要求于2014年7月9日提交的EP申請14176391的權(quán)益，其內(nèi)容通過參考整體結(jié)合于此。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及例如可在通過光刻技術(shù)的設(shè)備制造中使用的檢查裝置和相關(guān)聯(lián)的檢查方法。本發(fā)明還涉及制造設(shè)備的方法以及在實(shí)施這些方法中有用的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品。背景技術(shù)光刻裝置是在襯底上、通常在襯底的目標(biāo)部分上施加期望圖案的機(jī)器。光刻裝置例如可用于集成電路(IC)的制造。在這種情況下，圖案化設(shè)備(備選地被稱為掩?；蜓谀０?可用于生成將形成在IC的各自層上的電路...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。