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具有節(jié)距均勻性的平鋪的CMUT切片的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11159622

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本發(fā)明涉及醫(yī)學(xué)診斷超聲成像,并且尤其涉及使用電容式微加工超聲換能器(CMUT)的超聲探頭。背景技術(shù)用于醫(yī)學(xué)成像的超聲換能器具有導(dǎo)致產(chǎn)生高質(zhì)量診斷圖像的各種特性。其中包括寬的帶寬以及在超聲頻率下對(duì)于低水平聲學(xué)信號(hào)的高靈敏度。傳統(tǒng)上,具有這些特性并且因而用于超聲換能器的壓電材料由PZT和PVDF材料制成,其中PZT是最優(yōu)選的。然而,陶瓷PZT材料需要包括明顯不同且復(fù)雜的劃切(dicing)、匹配層粘結(jié)、填料、電鍍和互連的制造工藝并且需要大量的處理,所有這些會(huì)導(dǎo)致低于預(yù)期的換能器堆疊單元產(chǎn)量。而且,這...
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