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可集成的霍爾元件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:111407

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本發(fā)明涉及具有兩個電流端和兩個傳感端的可集成的霍爾元件。這種霍爾元件常被用在電表或功率表中來測量電流產(chǎn)生的磁場。例如,歐洲專利148330A2中公開了一種最初描述的集成霍爾元件,這種霍爾元件(以下簡稱為垂直霍爾元件)測量與元件表面平行的磁場。美國專利公報(4,253,107)公開了另一種最初描述的集成霍爾元件,用來與元件表面垂直的磁場,以下簡稱為水平霍爾元件。本發(fā)明的目的是實現(xiàn)任意所需尺寸的霍爾元件,這種霍爾元件盡管做在十分薄的半導體層上也幾乎沒有非線性和1/f噪音。在本例中垂直霍爾元件的有效長度遠大于半導體的層厚...
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