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氯硅烷分析廢氣回收處理裝置和處理方法與制造工藝技術資料下載

技術編號:11100337

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本發(fā)明涉及實驗室廢氣回收處理技術領域,具體涉及結構簡單、組裝及拆卸方便、易清洗的氯硅烷分析廢氣回收處理裝置和處理方法。背景技術多晶硅是制造半導體器件、集成電路、太陽能電池的基礎材料。近年來,計算機技術、互聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,同時人們對環(huán)境保護、節(jié)能減排和利用清潔能源呼聲的日益提高,使得多晶硅產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展。隨著多晶硅及相關行業(yè)的興起發(fā)展,對于作為生產(chǎn)多晶硅主要原料的三氯氫硅和多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅等氯硅烷的產(chǎn)量、質(zhì)量日益重視,對其的研究、分析持續(xù)深入進行。多晶硅是一種超高純材料,因此對其原料三氯氫硅...
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